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特种气体供气系统

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半导体行业:特种气体供气系统
——SLIAN专用PLC在芯片生产线供气系统中的应用
项目概述:
本次工程主要是对无锡华润晶芯半导体有限公司6“线35个气柜晶芯盘面做电控部分的改造
控制说明:
    1.气柜能够按照程式实现气体自动供气和更换钢瓶的自动确认,在实施过程中途径将变成蓝色、相应被打开的气动阀将变成红色;
    2.左钢瓶和右钢瓶能够瞬时实现自动切换;
    3.如左钢瓶在供气时,右钢瓶可以进行自动或者手动更换钢瓶的操作、同时可以进行手动的钢瓶维护操作;
    4.进入更换钢瓶操作和系统参数设置需加不同等级的密码,确保系统安全;
    5.触摸屏能显示不同操作的画面,便于系统报警点和其他参数的设定;
    6.外界毒气泄漏输入应引起气柜关闭;
    7.系统需有外部紧急遮断功能“EMO”;
    8.系统有“ESO”功能,确保触摸屏死机或损坏时系统能在当前状态,系统还能保持供气状态;
    9.英文提示。
结束语:
系统可靠的实现了上述控制要求,并且长时间运行稳定良好。